??真空密封是一種利用被稱為磁流體的液體被磁鐵吸引的特性的密封裝置。

磁流體雖然具有流體，但它像鐵砂一樣被磁鐵吸引。通過將磁性流體與磁體保持在真空密封中，連接部分和裝置之間的間隙被密封。它可以防止空氣、氣體和顆粒物進(jìn)入密封物體，從而保持真空環(huán)境。

保持磁流體的力由磁鐵的強(qiáng)度（磁力）決定，因此磁力越強(qiáng)，磁流體環(huán)的承受壓力越大。

真空密封的應(yīng)用

真空密封用于在生產(chǎn)嚴(yán)格禁止受到雜質(zhì)、空氣或水分污染的產(chǎn)品時(shí)保持質(zhì)量。由于其利用流體磁力的高阻擋效應(yīng)，因此通常用于需要高真空條件的制造業(yè)，例如制造半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池和智能手機(jī)的有機(jī)EL面板。

在這些制造過程中，需要制造設(shè)備的節(jié)能和小型化，真空密封件的應(yīng)用范圍極其廣泛。

1. 半導(dǎo)體

在半導(dǎo)體制造中，用于濺射設(shè)備、CVD設(shè)備、離子注入設(shè)備。這些需要具有真空密封的高真空環(huán)境，以便形成均勻的薄膜并通過離子注入控制半導(dǎo)體的電性能。

2、太陽(yáng)能電池

它還用于單晶拉制設(shè)備來生產(chǎn)硅錠，這對(duì)于生產(chǎn)太陽(yáng)能電池至關(guān)重要。在制造過程中，硅錠在真空中制造，以防止灰塵和污垢等污染以及空氣引起的氧化。真空密封用于維持設(shè)備內(nèi)的真空環(huán)境。

3. 有機(jī)EL

在有機(jī)EL中，為了形成有機(jī)EL元件的薄膜而進(jìn)行真空蒸鍍時(shí)需要真空密封。近年來，隨著液晶顯示器對(duì)有機(jī)EL的需求增加，對(duì)真空密封的需求也增加。

真空密封原理

真空密封使用一種稱為鐵磁流體的液體。磁性流體由三種成分組成：磁性納米顆粒（磁性顆粒）、表面活性劑以及水或油等基液。

通常情況下，磁性顆粒往往會(huì)像磁鐵一樣聚集在一起（尖峰現(xiàn)象），因此通常使用表面活性劑來防止這種情況發(fā)生。表面活性劑是極性的，因此極性相同的顆粒會(huì)相互排斥。結(jié)果，可以產(chǎn)生穩(wěn)定的磁性流體作為膠體溶液而不會(huì)附聚。

此外，除了磁性流體之外，真空密封件還使用永磁體和稱為軸的旋轉(zhuǎn)軸。真空密封件具有在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)進(jìn)行密封的機(jī)構(gòu)，并且可以防止旋轉(zhuǎn)軸與磁極材料或永磁體之間的接觸。與油片不同，固體物體不會(huì)相互接觸，因此無(wú)需擔(dān)心摩擦。

真空密封結(jié)構(gòu)

密封軸形狀的制造尺寸范圍廣泛，從幾毫米的小型產(chǎn)品到幾米的大型產(chǎn)品。真空密封由旋轉(zhuǎn)軸和強(qiáng)磁極片組成，兩種材料之間的間隙中產(chǎn)生磁場(chǎng)。

通過在該磁場(chǎng)中將磁性流體引導(dǎo)到間隙中，磁性流體形成O形環(huán)形狀并緊密粘附，從而防止外部侵入。

真空密封的特點(diǎn)

由于轉(zhuǎn)軸與液體接觸，因此可以任意旋轉(zhuǎn)，不會(huì)對(duì)轉(zhuǎn)軸造成磨損。此外，由于磁性流體沿著磁力線封閉間隙，因此不會(huì)因壓力差而流出，從而可以維持真空環(huán)境。

另外，磁力越大，磁性流體形成的環(huán)的承受壓力越高。通過多級(jí)形成環(huán)，形成耐高壓真空密封，可以承受更大的壓力。

磁流體的惰性和低蒸氣壓的特性也與真空密封的壽命有關(guān)。優(yōu)點(diǎn)是不易變質(zhì)，可以長(zhǎng)期使用，因?yàn)樗捎昧瞬灰追磻?yīng)的磁性流體。